离子探针方法-问答二七

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离子探针方法

离子探针方法是将质谱测定技术与离子发射显微镜技术相结合的现代仪器分析方法。能提供一般质谱分析所不能提供的试样微区质谱。由于它能对固体物质作微区、微量及深度成分分析，在某些条件下检测灵敏度可达ppb数量级，因此被广泛地应用于半导体、冶金、地质和生物研究等部门。

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