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TOF-SIMS(飞行时间二次离子质谱仪)

TOF-SIMS(飞行时间二次离子质谱仪)

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TOF-SIMS(飞行时间二次离子质谱仪)

TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是通过用一次离子激发样品表面,打出极其微量的二次离子,根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量的极高分辨率的测量技术。

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