干式涡旋泵
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干式涡旋泵,简称干泵,又称涡旋式干泵、干式真空泵,能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作,在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵。
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干式涡旋泵,简称干泵,又称涡旋式干泵、干式真空泵,能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作,在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵。
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